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來了解MKS真空計925系列性能參數

點擊次數:2545 更新時間:2016-06-03

來了解MKS真空計925系列性能參數
MKS 925系列真空計(MlcroPirani傳感器)
925系列MlcroPirani(微皮拉尼)傳感器是一個*的、基于MEMS的傳感器,它是一種熱導測量計。925 MlcroPirani常用于半導體設備及其它分析儀器中的真空壓力測量。MlcroPirani傳感器設計十分小型緊湊。其壓力測量范圍從常壓至10-5Torr,比標準Pirani壓力計低兩個數量級。925具有數字或模擬通訊接口,925有三個設置點。
925系列真空計主要參數:
測量范圍:1.0*10-5Torr至大氣壓
設定范圍:5.0*10-4 Torr至500Torr
精度:5*10-4 至10-3Torr ±10%讀數,10-3至100Torr ±5%讀數,100Torr至大氣壓 ±25%讀數
重復性:10-3至100 Torr ± 2%
電源要求:9 to 30 VDC,<1.5W

美國MKS 925系列真空計訂購資料(訂貨號如925-11030):

型號

訂購序號

925 MlcroPirani

925-

接口類型

 

KF16

1

KF25

2

1/8NPT

3

VCR4

4

VCR8

5

CF1.33

6

KF16擴展

8

通訊接口

 

RS232/模擬

1

RS485/模擬

2

模擬輸出

 

MKS標準

0

MKS定制有*測范圍

8

連接頭和繼電器

 

15針D-sub母頭/1個接觸點/925C兼容

1

15針D-sub母頭/無接觸點

2

15針D-sub母頭/3個接觸點

3

15針D-sub母頭/3個接觸點/雙模擬輸出

5

密封

 

標準/Viton密封

0

標準/UHV密封

1

標準/Viton密封/帶顯示

4

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